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設備概要
| ■ 両面研磨機 | |
| 浜井 ６Ｂ−５Ｌ | １台 |
| スピードファム ９Ｂ−５Ｌ | ７台 |
| スピードファム ９Ｂ−５ＤＢＧ | １台 |
| スピードファム １６Ｂ−５Ｌ | １台 |
| 富士工業 １８Ｂ−５Ｌ | ２台 |
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ラッピングマシン（9B-05L) 
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| ■ 片面ポリシング機 | |
| スピードファム ３２インチ | １台 |
| スピードファム ２４インチ | ２台 |
| 柴山 ２４インチ | １台 |
| 日本エンギス １８インチ | ２台 |
| 日本エンギス １５インチ | ３台 |
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日本エンギス18インチ
ポリシングマシン(32DTAW) 
ポリシングマシン(24DTAW) 
ポリシングマシン(EJW-400IFN-R) 
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| ■ 超音波洗浄機(電子技研工業）４槽式 | １台 |
| ■ 羽布レース（轟製作所）５Ｈｐ、３Ｈｐ | 各２台 |
| ■ 旋盤（大隈鉄工）６尺 | １台 |
| ■ ボール盤（吉良） | ２台 |
| ■ 面粗度計（小坂研究所）ＳＥＦ-１０Ａ | ２台 |
| ■ 面粗度計（Ｖｅｅｃｏ社） | １台 |
| Veeco社面粗度計 
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| ■ レーザー干渉計（ハイプレス社）ＨＬＩ-１５０Ｆ | １台 |
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レーザー干渉計 
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| ■ 平面研削盤（ワシノ）６００×４００ | １台 |
